文件名称:Glow discharge in low pressure plasma PVD- mat
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直流辉光放电,低气压下辉光放电的数值模拟(Numerical simulation of microwave plasma discharge at medium pressure)
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文件名 | 大小 | 更新时间 |
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Glow discharge in low pressure plasma PVD- mat.pdf | 1836002 | 2018-01-16 |