文件名称:light-electronic-interface
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微电子六存园接触孔,是微电子领域的瓶颈问题之一,解决好这一问题,对微电子产品性能的提高有很大的作用。-Light electronic interface is a key question to the development of this field. To better solve this problem does make sense to the further development of this scholar field.
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微电子6寸晶圆接触孔刻蚀工艺开发.nh