文件名称:微纳加工技术/
- 所属分类：
- 技术管理
- 资源属性：
- [PDF]
- 上传时间：
- 2012-06-14
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微米纳米加工技术—自顶向下 表面加工技术 (Surface Micromachining) 体硅加工技术 (Bulk Micromachining) LIGA (X射线曝光、微电铸、微铸塑) 电火花微加工技术 (Discharging) 激光微加工技术 (Laser micromachining) 电子束微加工技术 (E-Beam micromachining) 聚焦离子束（FIB, Focus ion beam）
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