文件名称:2012-PZT-based-piezoelectric
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基于PZT材料的压电谐振器综述，讲述PZT材料在MEMS谐振器中的应用及相关关键技术。对从事PZT器件研究的专业人士尤为有用。-Based on the the PZT the material piezoelectric resonator overview, tells the PZT material in MEMS resonators and related key technologies. Particularly useful for professionals engaged in the study of PZT device.
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2012 PZT-based piezoelectric mems technology.pdf