文件名称:RCWA——斜入射
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分别针对一维周期结构和二维周期结构简要阐述了严格耦合波分析理论的理在此基础上建立了基于严格耦合波分析的光学特性计算模型并推导实现了相应建模算法。为验证该算法的精确度与商用建模软件比较对于一维和二维周期
结构的求解精度分别达到了10-7和10-3量级。
结构的求解精度分别达到了10-7和10-3量级。
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