文件名称:MEMS.Mechanical.Sensors
- 所属分类：
- 其他嵌入式/单片机内容
- 资源属性：
- [PDF]
- 上传时间：
- 2012-11-26
- 文件大小：
- 2.26mb
- 下载次数：
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Rare material on Micro Electro mechanical machined sensors MEMS applications and internals -Rare material on Micro Electro mechanical machined sensors MEMS applications and internals ....
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MEMS Mechanical Sensors - Stephen Beeby.pdf