文件名称:the-micromachined-membrane--mirror--
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对于自适应镜中微机械薄膜变形镜的闭环校正模型，介绍了自适应镜（MMDM）的形变与电压关系和用途-For the adaptive mirror micromachined membrane deformable mirror in closed-loop calibration model introduced deformation and voltage relationship and uses adaptive mirror (MMDM)
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微机械薄膜变形镜的闭环校正模型.pdf